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    • 液晶制造用平臺
    • 技術參數:
      行程:690×1, 550mm
      尺寸:1,600×1,660mm
      定位時間:400msec
      最高速度?。?00mm/sec
      真直度(垂直/水平)
      X軸:±1.2μm、 ±1.13μm
      Y軸: ±2μm 、 ±0.63μm  
          速度穩定性 :±0.1%(35 mm/sec時)
      采樣周波數:100Hz
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