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      專業致力于提供電子行業的制造設備及工藝流程解決方案的plasma等離子體高新技術企業
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      等離子清洗機效果驗證評估測試
      眾所周知,等離子清洗機處理后的材料表面會有一些細微的變化,這是我們肉眼無法分辨的。那么我們如何判斷等離子處理后的樣品是否發生了變化呢?一般來說,有幾種常用的效果驗證評估測試的方法。一種也是直接的方法是將等離子體處理后的樣品直接用于下一個過程。如果滿足你的要求,說明等離子清洗機清洗是有效的。當然,如果不能滿足你下一道工序的要求,我們也不能斷定等離子清洗機處理材料無效。只是處理的效果不一樣,等離子表面處理在某種意義上適用于所有材料,處理效果也受多種因素影響。 以下是判斷CRF等離子體處理效果的三種常用方法: 接觸角/邊緣角度驗證: 接觸角是指觀察靜態液滴在固體上的投影時,液滴輪廓與固體表面之間的接觸角。根據物理定義,接觸角小于90°的表面是親水的(可濕性),接觸角大于90°時疏水(不可潤濕)。通過等離子體表面處理,接觸角會改變(變大或變小)。通過適當的等離子體工藝流程或在等離子體工藝流程中,進行適當的涂層處理。親水表面會轉化為疏水表面(親水涂層處理會得到相反的效果)。 測試墨水驗證: 估算表面能的測量方法:如果測試油墨涂在表面后聚集在一個地方,固體的表面能低于油墨,如果保持濕潤,固體的表面能等于或大于液體的表面能。通過使用一系列具有梯度表面能的測試油墨,可以確定固體的總表面張力。但是這種方法不能確定表面能的極性部分和非極性部分。 網格切割測試驗證: 為了檢查涂層的附著力,需要進行網格切割試驗,在進行噴漆后,將塑料件的漆層切割成網格狀,然后將標準膠帶貼在切割網格上,將膠帶粘牢,然后突然撕下。如果膠帶上有油漆,說明油漆的附著力不夠,切割網格以此顯示塑料零件上漆層的粘合強度。
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      等離子體注入等離子體的生物相容性提高應用
      改善材料的生物相容性是等離子體離子注入的另一個成功應用,等離子體注入可單獨應用,也可結合PVD或CVD工藝實現。比如,標準的低溫各向同性熱解碳,在活體內表現為強的影像形態血栓聚集,但是用PIII氧處理過的鈦基生物材料,在放入活體內后沒有出現明顯的血栓。通過氧離子轟擊,控制氧化物生長,使其生成金紅石相。 ? ? ? ? 另外,經PIII處理的LTI碳材料,其生物相容性也得到了很大的改善,植入活體后其血小板密度明顯降低??赡苁窃诘獨庾⑷胫?,CN表面層的形成導致。直到現在,這些很有應用價值的材料,還沒有被用于常規手術中,因為有很多阻礙因素。舉例來說,法律規定:“在將一種新型人工合成材料植入人體之前,需要經過長時間的測試和臨床試驗等程序”,這就需要有一個合法的程序。 ? ? ? ? PII該技術已成功應用于非金屬材料的離子注入。用常規離子注入時,非金屬材料易帶電,由于靜電會使材料表面的離子被排斥,所以在等離子環境中進行PII處理時,等離子體中的電子自動完成電荷中和。
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      等離子清洗機在材料上處理增加親水性原理
      為更好的告訴大家為什么等離子清洗機可以使材料表面具有親水性,首先我們對親水性有一個大概的了解,下面是一些關于親水性的百度百科的基本解釋。 ? ? ? ? 英文釋義:hydrophilic property;hydrophilicity,通俗地說,就是與水有更強的親和力,能吸引水分子,或容易在水中溶解。 ? ? ? ? 親水性定義:具有極化基團的分子與水有很強的親和力,能吸引水分子或溶解于水。這種分子形成的固體材料表面,很容易被水浸潤。擁有這一特性就是物質的親水性。親水性是一種分子能通過氫鍵和水形成短暫結合的物理性質。由于熱力學的作用,這個分子不僅能溶于水,而且能溶于其它極性溶液。一種親水性分子,或稱一種分子的親水性部分,它具有極化能力,使之形成氫鍵,并使之更易溶于油溶液或其它疏水性溶液的水中。親水性和疏水的分子也可以分別稱為極性的和非極性的分子。 ? ? ? ? 親水性原理:易與水發生氫鍵結合的特性稱為親水性。很多親水性基團,如羥基,羧基,氨基,磺酸基容易與氫鍵結合,因此具有親水性。 ? ? ? ? 通過對上述親水性原理的描述,我們可以很清楚地看到,由于材料表面存在親水性基團,這些親水性基團容易與氫鍵結合,從而產生親水性。因此,很容易解釋為什么等離子清洗過后會使得材料表面具有親水性。 ? ? ? ? 等離子清洗機使材料親水原理:等離子清洗機(plasma cleaning machine)又稱等離子清潔機,或等離子表面處理機,是一種全新的高科技技術,用等離子來達到常規清洗無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態,也稱為物質的第四態,不屬于通常所說的固體氣體液體三態。當把足夠的能量加到氣體上,使其離化便會變成等離子狀態。等離子體的活性成分包括:離子、電子、原子、活化基團、激發態核素和光子等。將反應性氣體通入等離子清洗機,可使材料表面發生復雜的化學反應,并引入新的官能團,如烴基、氨基、羧基等,它們均為活性基團,可顯著提高材料表面活性。普通材料經過NH3、O2、CO、Ar、N2、H2等氣體等離子體處理后與空氣接觸,會在表面增加-COOH,-C=O、-NH2、-OH、等基團增加其親水性; ? ? ? ? 等離子清洗機親水原理簡單地說,就是等離子體中的活性粒子與材料表面發生反應,產生親水基團,從而產生親水性。
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      半導體等離子清洗機制造應用
      等離子體輔助清洗技術是先進制造業中的一種精密清洗技術,可廣泛應用于很多行業,下面為大家介紹一下,等離子體清洗技術在半導體制造業中的應用。 ? ? ? ? 化學氣相沉積(CVD)和刻蝕在半導體加工中得到了廣泛的應用,CVD可用于多晶硅薄膜、氮化硅薄膜、二氧化硅薄膜和鎢等金屬薄膜的沉積。另外,微三級管和電路中起連接作用的細導線也采用了CVD技術在絕緣層上。 ? ? ? ? CVD反應過后,部分殘留物會在CVD反應腔內壁沉積,這里的危險在于,這些殘留物將從內壁脫離出來,污染了隨后的循環過程。所以,在新的沉積工藝開始之前,需要用等離子清洗機清洗CVD腔,以保持合格產品輸出。常用的清洗氣體是PFCs和SF6等含F氣體,可作為等離子體發生氣體用來清洗CVD腔室壁上的Sio2或Si3N4。再循環過程中,FFC在等離子體作用下分解出的F原子能刻蝕掉電極、腔室壁上的殘留物,以及腔內五金器件上的殘留物。 ? ? ? ? 在等離子清洗機清洗的過程中,有相當一部分腔室內的FFC并沒有離解為活性F原子。除非采用減少排放技術,不然這部分未反應的含F氣體將流入大氣層。由于這些氣體在大氣中存在時間較長,將大大加劇全球變暖,其熱量比二氧化碳高出4個量級,因此,環境組織從1994年起就開始開發技術來減少這些氣體的排放。氮氣對溫室效應的影響不大,可代替上述含F氣體。 ? ? ? ? 半導體工業中的另一個生產步驟是使用等離子清洗機來清洗硅膠片上元件表面的感光有機材料制造的光刻膠。在沉淀過程開始之前,殘余的光刻膠必須清除干凈,使用熱硫酸和過氧化氫溶液或其它有毒有機溶劑對膠體進行脫膠,這樣會導致環保問題,但采用等離子清洗機清洗時,可采用三氧化硫等氣體脫膠,從而減少了對化學溶劑和有機溶劑的依賴。對一般生產廠家而言,采用等離子去膠技術,可使化學溶液用量減少上千倍不止,不僅環保,而且為企業節省了大量資金。
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      碳纖維等離子體表面處理改善親水性能
      碳纖維作為一種重要纖維材料,碳纖維具有高比強度、高比模量、耐高溫、耐腐蝕等優良性能,在國防軍工、航空航天、武器裝備、交通運輸、生物醫藥等高新技術產業中有著廣泛的應用。但是,由于碳纖維是由片狀石墨微晶等有機纖維沿纖維軸向堆徹而成的微晶石墨材料,其表面呈高度晶化、無極性的石墨片層結構,具有化學惰性,導致其表界面性能較差,嚴重影響后續復合材料的綜合性能,在特定工況下的應用受到很大限制,等離子體表面處理技術可以改善其問題。 ? ? ? ? 當前,碳纖維的表面改性已經成為碳纖維生產過程中不可或缺的重要環節。碳纖維生產企業,如日本東麗公司、日本三菱麗陽公司和德國西格里公司,已經把表面改性效果作為衡量碳纖維質量的重要指標。所以對碳纖維進行表面改性,從而提高其表界面親水等性能,是碳纖維生產和應用的關鍵。 ? ? ? ? 在過去的幾年中,國內外學者和工業界對碳纖維的表面改性進行了大量的研究。在這些因素中,提高碳纖維表面粗糙度、增加表面化學官能團是改善纖維表面界面性能的關鍵。碳纖維表面改性的常用方法主要有表面氧化、表面涂層、高能射線照射、超臨界流體表面接枝及等離子體表面改性等。電化學氧化工藝具有生產連續性強,工藝條件易于控制等特點,已在工業上得到了實際應用。但是它仍然需要使用大量的化學劑,消耗大量的能量,產生大量的廢水和廢液,而且對于高模量碳纖維來說,氧化困難,需要延長處理時間。 ? ? ? ? 相對于傳統工藝等離子體表面處理改性技術具有清潔環保、省時高效等優點,是目前應用很廣泛的方法。等離子體表面處理工作原理主要包括兩個方面:一方面,通過活性顆粒使纖維表面形成自由基和極性基團,從而提高纖維表面的自由能和浸潤性清水性;另一方面,通過蝕刻增加纖維的表面積和表面粗糙度,以清除纖維表面的污染物。 ? ? ? ? 通過常壓等離子體清洗機表面處理對水溶液中碳纖維進行表面改性,利用等離子體中的活性粒子與水分子之間的相互作用,在去除碳纖維表面漿料的同時對其進行親水改性。
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      plasma真空等離子清洗機選型指南
      產生于20世紀初的等離子清洗技術,隨著高新技術產業的迅速發展,其應用范圍日益廣泛,目前已在眾多高新技術領域中,占據了關鍵技術的地位。plasma等離子清洗機技術對工業經濟和人類文明的影響挺大的,率先推動了電子信息行業,特別是半導體和光電行業的發展。由于等離子清洗機在越來越多的行業中得到了越來越多的應用,如何選擇合適的等離子清洗機就成了人們關心的問題,今天我們來談談如何選擇plasma真空等離子清洗機。 在plasma真空等離子清洗機的選擇上,我們主要從以下幾個方面考慮。 先由腔體尺寸確定等離子清洗機的型號,腔體尺寸主要從以下兩方面考慮。 1、工件尺寸: 一般而言,真空等離子清洗機的分類主要是根據空腔尺寸和空腔材料來劃分的,選擇空腔尺寸時首先要考慮的是工件尺寸,也就是說,至少要能夠將工件放下去,如果工件連放都放不下去,再考慮其他因素也沒有多大意義。 2、生產能力: 對于產能要求較高的產品,一定要根據產能選擇空腔尺寸,空腔尺寸越大,一次加工的產品越多,如果產能要求不高,則優先考慮工件尺寸。當工件可以放下時,我們可以根據其生產能力計算出合適的空腔尺寸。 我們要考慮的第二個問題,是選擇什么頻率的等離子清洗機。 頻率選擇: 現在通常使用的頻率有40KHz和13.56MHz,20Mhz。40kHz的自偏壓為1000V左右,13.56MHz自偏壓為250V左右,20MHz的自偏壓則更低,這三種激發頻率的機制不同,40kHz發生的反應為物理反應,13.56MHz發生的反應既有物理反應又有化學反應,20MHz有物理反應但更主要的反應為化學反應。 空腔材質選擇: 現在常用的腔材料有以下幾種:石英腔、不銹鋼腔、鋁合金腔,這三種腔各有優點,石英腔溫度較低,而且不容易發生反應。鋁型材的優點:1、鋁型材密度低,強度高,優于鋼,具有較好的機械加工性能。鋁具有良好的導電、導熱和抗腐蝕性能。材料對化學反應的兼容性較好,不易產生金屬污染,不會產生污染等。 真空泵選擇: 到底是選用國產的,還是進口的,是干泵還是油泵,是單級泵,還是雙極泵,每種真空泵的選擇都可以根據客戶的實際需要而定,在此不再贅述。 氣路選擇: 一般真空等離子清洗機都是兩路氣路,但這不能滿足所有的處理要求,如果需要更多的反應氣,則氣道要適當增加,這也是根據用戶的實際需要,選擇多路氣路。
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